氮化镓(GaN)功率器件衬底工艺管控
发布时间：2023-01-10 09:40:50
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行业背景：
氮化镓(GaN)功率器件是非常适于研制高频、大功率微波、毫米波器件和电路，在5G通讯、航天、国防等领域有极其广泛的应用。随着功率密度的增加，芯片热积累增加，导致其各项性能指标迅速下降，使其大功率优势未能充分发挥。散热问题成为制约 GaN 基功率器件进一步发展和广泛应用的主要技术瓶颈之一。
GaN功率器件常用衬底材料（蓝宝石、硅、碳化硅）的热导率较低，近年来高热导率金刚石成为了主流技术路线。
然而该技术路线的难点在于大尺寸金刚石衬底的高精度加工，尤其是对平行度、变形量及表面粗糙度的极高要求；
案例内容：
2022年，接到多家金刚石衬底的制造厂家咨询，需对金刚石衬底材料进行平面度，PV值，粗糙度进行快速检测。
客户痛点:
①非接触式纳米级别的粗糙度测量
②需对整个面扫描，过程管控希望完成单品测量时间越短越好。
解决方案：
304am永利集团智能以白光干涉为扫描原理的快速拼接方案，提供保证拼接精度下最快速的拼接硬件，后台数据SST并行计算处理，最终比客户其他方案效果高出3倍以上测试效率。
